フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット
ITOスパッタリングターゲット
特長
原料からの一貫生産の強みを生かし、電気分解法による酸化インジウム、酸化スズを用いた、高密度/低パーティクル品を「UHD（Ultra High Density）-IVグレード」として生産・販売しています。標準的な酸化スズ濃度10wt％品に加えて、低温での低抵抗膜の形成が可能なためフィルムへの成膜に最適な、酸化スズ濃度の低い製品もご提供可能です。ロータリー形状ターゲットにおいても、大型シリンダーを用いた少分割品を使用することで、パーティクル抑制が可能です。
用途
透明導電膜
技術内容・特性
| 純度 | 4N |
|---|---|
| 形状 | ロータリータイプ、プレーナータイプを問わず、全スパッタ装置・全サイズで、対応可能。 |
| 組成 | 標準的な酸化スズ濃度10wt％品を中心に、各種組成で対応可能 |
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