スパッタリングターゲット
太陽電池用スパッタリングターゲット
太陽電池用ターゲットについて、CIGS薄膜太陽電池の吸収層形成に用いられるIn（インジウム）ターゲットを中心に、開発及び製品供給をしています。
主要製品
Inターゲット
用途
太陽電池
技術内容・特性
Inターゲット：従来製法品と比べて、当社のInターゲットは高い成膜レートでのスパッタを実現させます。低パワーでのスパッタを可能とすることで、アーキング抑制の効果が期待出来ます。
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