高純度塩化物
高纯度二氯二氧化钼（MoO2Cl2：molybdenum dioxide dichloride）
二氯二氧化钼（MoO2Cl2）是一种以3D NAND闪存字线为首，有望今后活用于各种半导体工艺的下一代材料。
本公司的二氯二氧化钼（MoO2Cl2）已达到世界顶尖的高纯度（6N以上），无需额外提纯即可用于半导体。
二氯二氧化钼（MoO2Cl2）是什么？｜一种用于钼互连结构的无氟前驱体
钼（Mo）是一种在微结构、薄膜领域比钨（W）电阻更低的材料，有助于提升半导体器件的微缩化水平和继承密度、的材料。
此外，二氯二氧化钼（MoO2Cl2）作为无氟前驱体（Precursor），相较于现有WF₆，更有望提高工艺稳定性，预计将在应各种半导体器件中得到应用。
二氯二氧化钼（MoO2Cl2）的半导体应用（3D NAND、DRAM、逻辑芯片）
作为互连材料，有望应用于3D NAND、DRAM、逻辑大规模集成电路等各种器件
- 3D NAND 字线
- DRAM 字线、位线等
- 逻辑芯片 互连线、接触孔、二维材料等
本公司二氯二氧化钼（MoO2Cl2）的特点（高纯度、高堆积密度、低含水量）
半导体级品质
- 产品涵盖５N(99.999%)级、６N(99.9999%)※级的高纯度产品。无需额外提序即可满足半导体应用要求，有助于降低总体成本。
- ※专利申请中（国际公开号：WO2021171742）
高堆积密度
- 凭借高堆积密度，可实现罐装填充量（Canister）的提升。
- 可降低罐体（Canister）更换频率，减少设备停机时间等，从而显著提高运营成本效益。
低含水量
- 通过严格控制含水量，减少水合物的生成。
可降低沉积过程中罐内残留物，提升 MoO2Cl2 在罐内的有效利用率。
MoO2Cl2的照片
供应链保障
本公司作为原料厂商，提供高纯度二氯二氧化钼（MoO2Cl2）原料的稳定供应。
出货形态
产品采用玻璃瓶装并置于密封包装内发货。
如需进一步了解包装细节或分装至指定容器的服务，也敬请咨询。
当前供应情况
本公司二氯二氧化钼（MoO2Cl2）在日本国内实现量产。
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