溅射靶材
平板显示器用溅射靶材
ITO（Indium Tin Oxide，氧化铟锡）是为数不多的透明导电性材料之一。尤其是溅射膜的导电性、透明性、耐久性优异，因此广泛用作液晶、有机EL、触摸屏等的显示器和光伏电池的透明电极。
此外，我们还提供表面光滑度和蚀刻特性优异的非晶透明导电膜用IZO（Indium-Zinc-Oxide，铟锌氧化物）靶材、有望用作新一代TFT半导体材料的氧化物半导体用IGZO（Indium-Gallium-Zinc-Oxide，铟镓锌氧化物）靶材、能够提高生产效率的圆筒形靶材等多种产品。
主要产品
特点
- 优异的溅射特性
- 在开发和生产的历史中确立的高密度、低结节靶材的量产技术
- 大型片材
- 使用大型片材以减少构成靶材的片材分割数，并抑制异物发生
- 稳定供应
- 在全世界拥有3大生产基地（日本、韩国、中国台湾），生产能力充裕，并有原料供应体制作支撑
- 圆筒型
- 所有产品均可制造为使用效率高的圆筒形靶材
技术内容与特性
- 工厂
- 矶原工厂（茨城县）、平泽工厂（韩国）、龙潭工厂（中国台湾）
- 营业据点
- 东京、韩国、中国台湾、中国、德国、美国
- 经营产品
- 各类透明导电膜用靶材
氧化物半导体用靶材
- 拥有装置
- （示例）成膜设备、膜评估设备
- 质量体系（认证）
- 所有生产基地均获得ISO9001认证
用途
- 液晶面板显示器
- OEL显示器
- 触摸屏
- 光伏电池
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※24小时受理。