溅射靶材
透明导电膜用溅射靶材
氧化物透明导电材料 (Transparent Conductive Oxide : TCO) 因其透明且具有导电的特性，因此被广泛用于液晶、OLED 显示器的像素电极膜，或太阳能电池的透明电极膜。我们公司独有的氧化物透明导电材料 IZO (Indium Zinc Oxide)，由于其在可见光到短波红外 (SWIR) 区域的透射率高，因此被用作各种红外线设备，或作为 CIGS 系列太阳能电池的透明电极。此外，与 ITO (Indium Tin Oxide) 不同，IZO 在成膜后不需要热处理，因此被期待用作 OLED 或柔性设备的透明电极膜。
主要产品
IZO溅射靶材、其他TCO、各种氧化物溅射靶材
IZO的特点
- 这是一种在可见光到SWIR区域具有优秀透射率的导电膜（图1）。
- 与ITO膜不同，无需进行热处理以获得导电性和透射率，因此可以在热敏感的基底和基材上进行镀膜（图2）。
- 与ITO相比，薄膜沉积过程中产生的结核较少，从而实现低异物处理（图3, 4）。
- 由于具有非晶结构，膜应力小，易于多层膜化（图5）。此外，膜表面平整性优良（图6）。
应用
- Micro OLED面板用像素电极膜
- 各种红外线设备用透明电极膜
- 各种柔性设备用透明电极膜
IZO膜的代表性特性
- ※这是使用我们公司的测试机得出的结果，不作为对产品特性的保证。
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