平板显示器用溅射靶材
IZO溅射靶材
特点

IZO(Indium-Zinc-Oxide,铟锌氧化物)是本公司独特的透明导电膜用材料,非常适合用作以EL面板为代表的新一代显示面板的电极材料。其特点如下所示。
- 常温成膜,低电阻,高透射率
- 易于在树脂基板和有机层上采用。
- 低异物,无结节
- 有助于减少维护研磨并提高成品率。
- 非晶态稳定性高且表面光滑度优异
- 易于与上下膜积层。
- 优异的蚀刻特性
- 有助于防止电流泄漏和缩短周期时间。
ITO/IZO 基础特性对比
靶材 | 膜电阻[mΩ・cm] | 透射率@550nm [%] | 电弧 | 非晶态稳定性 | 膜表面粗糙度 | 蚀刻速率 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Ra[nm] | Rz[nm] | ||||||
ITO | 1.07 | 77.9 | 普通 | 普通 | 2.24 | 34.2 | 普通 |
IZO | 0.41 | 83.1 | 少 | 好 | 0.52 | 5.2 | 快 |
- ※均为as-depo.膜,电阻率、透射率为膜厚55nm的数据,表面粗糙度为膜厚130nm的数据。
用途
透明导电膜
技术内容与特性
纯度 | 3N |
---|---|
形状 | 无论圆筒型还是平板型,适用于所有溅射装置和所有尺寸。 |
成分 | 标准 氧化锌浓度10.7wt% |
ITO/IZO 结节、电弧对比


无结节,电弧极少,可抑制异物。
ITO/IZO 导电特性、光学特性 对比


发现在室温成膜时和低温退火时具有优于ITO的特性。
XRD图谱 IZO膜/ITO膜

可形成优质的非晶态稳定膜。
IZO膜 TEM图像

可形成优质的非晶态稳定膜。
可形成优质的非晶态稳定膜。
ITO/IZO 弯折特性对比

具有优异的耐弯折特性。
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