平板显示器用溅射靶材
IZO溅射靶材
特点
IZO（Indium-Zinc-Oxide，铟锌氧化物）是本公司独特的透明导电膜用材料，非常适合用作以EL面板为代表的新一代显示面板的电极材料。其特点如下所示。
- 常温成膜，低电阻，高透射率
- 易于在树脂基板和有机层上采用。
- 低异物，无结节
- 有助于减少维护研磨并提高成品率。
- 非晶态稳定性高且表面光滑度优异
- 易于与上下膜积层。
- 优异的蚀刻特性
- 有助于防止电流泄漏和缩短周期时间。
ITO/IZO 基础特性对比
| 靶材 | 膜电阻[mΩ・cm] | 透射率@550nm [％] | 电弧 | 非晶态稳定性 | 膜表面粗糙度 | 蚀刻速率 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ra[nm] | Rz[nm] | ||||||
| ITO | 1.07 | 77.9 | 普通 | 普通 | 2.24 | 34.2 | 普通 |
| IZO | 0.41 | 83.1 | 少 | 好 | 0.52 | 5.2 | 快 |
- ※均为as-depo.膜，电阻率、透射率为膜厚55nm的数据，表面粗糙度为膜厚130nm的数据。
用途
透明导电膜
技术内容与特性
| 纯度 | 3N |
|---|---|
| 形状 | 无论圆筒型还是平板型，适用于所有溅射装置和所有尺寸。 |
| 成分 | 标准 氧化锌浓度10.7wt% |
ITO/IZO 结节、电弧对比
无结节，电弧极少，可抑制异物。
ITO/IZO 导电特性、光学特性 对比
发现在室温成膜时和低温退火时具有优于ITO的特性。
XRD图谱 IZO膜/ITO膜
可形成优质的非晶态稳定膜。
IZO膜 TEM图像
可形成优质的非晶态稳定膜。
可形成优质的非晶态稳定膜。
ITO/IZO 弯折特性对比
具有优异的耐弯折特性。
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