光学膜用スパッタリングターゲット
NS-5シリーズ
（高屈折ターゲット）
特長
当社オリジナルの高屈折率ターゲットで、以下の特長があります。
- 高屈折率/高透過膜をDCスパッタで高速成膜可能です。
TiO2の代替材料として、生産性の向上が可能です。 - アモルファス安定でバリア性能に優れております。各種保護膜としても適しています。
NS-5：TiO2と同等の高屈折率膜 NS-5B：TiO2比3倍の高速成膜
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