スパッタリングターゲット
透明導電膜用スパッタリングターゲット
酸化物透明導電材料 (Transparent Conductive Oxide : TCO) は透明で導電性を有することから、液晶、OLED ディスプレイの画素電極膜として、または太陽電池の透明電極膜として幅広く使用されています。当社独自の酸化物透明導電材料である IZO (Indium Zinc Oxide) は、可視光から短波長赤外領域での透過率が高いことから、各種赤外線デバイス、あるいは CIGS 系太陽電池の透明電極として、また、ITO (Indium Tin Oxide) と異なり成膜後の熱処理を必要としないことから、OLED、あるいはフレキシブルデバイス用の透明電極膜として期待されています。
取り扱い品
IZOスパッタリングターゲット、その他TCO、各種酸化物スパッタリングターゲット
IZOの特徴
- 可視~短波長赤外領域での透過率に優れる導電膜です（図1）。
- ITO膜と異なり、導電性、透過率を得るための熱処理が不要なため、耐熱性の低い下地、基材への成膜が可能です（図2）。
- ITOに比較して成膜時のノジュールの発生が少なく、低パーティクルプロセスが可能です（図3, 4）。
- アモルファス構造のため膜応力が小さく、多層膜化が容易です（図5）。また、膜表面の平坦性に優れます（図6）。
用途
- マイクロOLEDパネル用画素電極膜
- 各種赤外線デバイス用透明電極膜
- 各種フレキシブルデバイス用透明電極膜
IZO膜の代表的な特性
- ※弊社試験機を使用した結果であり、製品特性を保証するものではありません。
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