スパッタリングターゲット
フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット
ITO（Indium Tin Oxide）は、透明で導電性を有する数少ない材料です。特にスパッタリング膜は導電性、透明性、耐久性に優れるため、液晶、有機EL、タッチパネル等のディスプレイや、太陽電池の透明電極として幅広く使用されています。
この他、表面平滑性、エッチング特性に優れたアモルファス透明導電膜用のIZO（Indium-Zinc-Oxide）ターゲット、次世代TFT半導体材料として期待される酸化物半導体用IGZO（Indium-Gallium-Zinc-Oxide）ターゲット、高い生産性が得られるロータリー形状ターゲットなど、多くの製品を取り揃えています。
主要製品
特長
- 優れたスパッタ特性
- 開発と生産の歴史の中で確立された、高密度・低ノジュールターゲットの量産技術
- 大型タイル
- 大型タイルを使用することでターゲットを構成するタイルの分割数を減らし、パーティクルを抑制
- 安定供給
- 世界に3ヶ所ある製造拠点（日本、韓国、台湾）での豊富な生産能力と、それを支える原料供給体制
- ロータリータイプ
- 全製品で、使用効率が高いロータリー形状ターゲットが製造可能
技術内容・特性
- 工場
- 磯原工場（茨城県）、平澤工場（韓国）、龍潭工場（台湾）
- 営業拠点
- 東京、韓国、台湾、中国、ドイツ、アメリカ
- 取扱い品
- 各種透明導電膜用ターゲット
酸化物半導体用ターゲット
- 保有装置
- （一例）成膜機器、膜評価機器
- 品質システム（認証）
- 全製造拠点でISO9001取得
用途
- 液晶パネルディスプレイ
- 有機ELディスプレイ
- タッチパネル
- 太陽電池
お問い合わせ
ウェブから
※24時間受け付けております。