スパッタリングターゲット

開発中AlScスパッタリングターゲット

AlScスパッタリングターゲット

移動通信端末には800~2500MHz帯で動作する高周波(RF: Radio Frepuency)フィルタが用いられています。
このRFフィルタには、圧電体基板の表面を伝搬する表面波SAW(Surface Acoustic Wave)を利用したSAWフィルタが広く使われています。
近年バルク弾性波BAW(Bulk Acoustic Wave)の商用化が進み、従来のSAWフィルタでは対応できない高難度Band(周波数帯)において、BAWの適用が広がっている状況であり、既存の材料に比べて更に特性の良いAlScターゲットを提供しています。従来からあるAlNに対し、AlScは1桁高い圧電定数を期待できます。
JX金属では既存のAlScターゲットと比較し、圧電特性に影響する酸素の含有量を大幅に低減しています。

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