各種金属・化合物粉

開発中高純度塩化物

JX金属グループでは、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、コバルト(Co)タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)の各種塩化物を取り揃えています。いずれも純度3N(99.9%)~6N(99.9999%)の高純度塩化物です。
半導体用CVD・ALDプロセス用途に加え、触媒、化学合成、コーティング材、積層セラミックコンデンサ(MLCC)用添加材としてご利用いただけます。

製品名 用途例
半導体用CVD・ALD 触媒 化学合成 コーティング材 MLCC用添加材
MoCl5 五塩化モリブデン
WCl5 五塩化タングステン
WCl6 六塩化タングステン
CoCl2 二塩化コバルト
TaCl5 五塩化タンタル
NbCl5 五塩化ニオブ
  • 上記以外の塩化物やオキシ塩化物も取り揃えております

掲載製品の販売は、タニオビス・ジャパン株式会社にても行っております。

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